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  • 靶材的行業發展
  • 2017/2/10 閱讀次數:[3274]
  • 各種類型的濺射薄膜材料在半導體集成 電路 (VLSI) 、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等 方面都得到了廣泛的應用。20世紀90年代 以來,濺射靶材及濺射技術的同步發展,極大地滿足了各種新 型電子元器件發展的需求。例如,在半導體集成電路制造過程中,以電阻率較低的銅導體薄膜代替鋁 膜布線:在平面顯示器產業中,各種顯示技術 (如LCD、PDP 、OLED及FED等)的同步發展,有的已 經用于電腦及計算機的顯示器制造;在信息存儲產業中,磁性存儲器的存儲容量不斷增加,新的磁光記錄材料不斷推陳出新 這些都對所需濺射靶材的質量提 出了越來越高的要求,需求數量也逐年增加。
    市場概況
    日本。 美國而言.約有50家中小規模的靶材制造商及經銷商,其中 的公司員工大約有幾百人。不過為了能更接近使用者,以便提供更完善的售后服務,全球主要靶材制造商通常會在客戶所 在地設立分公司。近段時間 ,亞洲的一些 和地區,如臺灣.韓國和新加坡, 建立了越來越多制造薄膜元件或產品的工廠,如 IC、液晶顯示器及光碟制造廠。
    對靶材廠商而言,這是相當重要的新興市場。中國靶材產業發展也是與日俱增,不斷的擴大自己的規模和生產技術,國內一線生產制造靶材的品牌已經達到國外最 的技術水平。2010年,日本三菱公司 在中國臺灣地區建立了光碟塒靶材的生產基地,可以滿足臺灣 50%的靶材需要。
    BCC(Business Communications Company ,商業咨詢公司) 的統計報告指出,全球靶材市場將以 8.8 %的年平均增長率(AAGR) 在今后的 5年內持續增 長, 估計銷售額將從1999年的 7.2億美元增加到2004年的11億美元。靶材是一種具有高附加價值的特種電子材料,主要使用在微電子,顯示器,存儲器 以及光學鍍膜等產 業上,用以濺射用于 技術的各種薄膜材料。BCC的報告顯示:全球的上述產業在1999年使用了2.88百萬公斤靶材。換算為面積,則濺射了363百萬平方米的薄膜。而若以單位靶材來計算,全 球在1999年則大約使用了37400單位的靶材。這里所要指出的是,隨著應用產業的不同,靶材的形狀與 大小也有所差異,其直徑從15G m到 3m都有,而上述的統計資料,則是平均化后的結果。
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